1) 采用剛性好的固定橋式結(jié)構(gòu)，具有高精度、高性能和高穩(wěn)定性的優(yōu)點；
2) 四軸均采用精密滾珠絲杠傳動，具有剛性高，反向間隙小、傳動精度高的特點；
3) 采用優(yōu)質(zhì)花崗巖空氣軸承導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)，熱膨脹系數(shù)小，導(dǎo)向精度高，運行平穩(wěn)；
4) Y向采用燕尾式氣浮導(dǎo)軌設(shè)計，使其在X、Z方向具有較強的抗扭強度；
5) Z軸采用技術(shù)的氣浮套結(jié)構(gòu)，偏置力矩小，運動平穩(wěn)；
6) 光柵尺采用進(jìn)口高精度插槽式光柵尺；
7) 配備5環(huán)8區(qū)四色環(huán)形光源、輪廓光源、同軸光源，可控光源系統(tǒng)，智能實現(xiàn)光源亮度調(diào)節(jié)。
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